3.コマ収差…レンズの傾きによる像の流れ. レンズに対して、斜めに入った光線が、図のように1点で集まらず、上下非対称に像が乱れる現象をいいます。 コマ収差があると、光軸外の1点は尾を引いた彗星のような形の像になります。 彎曲収差 これも軸外収差で非点収差と同様に図1-4の ように像 面が彎曲したための収差であり,収差係数が実数のみの 場合である. 〓(1.4) コマ収差 コマ収差は軸上球面収差と軸外収差と両方の性質をか ねそなえたもので図1-5の ように彗(スイ)星の尾のよう 1a～4aのコイルに流す電流Iaと1b～4bのコイルに流す電流Ibの大きさを調整することにより任意の方向の非点収差を補正することができる[1]。なお、非点収差補正装置は、対物レンズの電子源側に配置する。 図4 (a-c) は、非点収差があるときのSEM像を示す。 2.2 非点収差法1), 7) シリンドリカルレンズを用いて検出像に非点収差を与え， デフォーカス量を像の変形に変換する方法である(図2)． フォーカス位置では円形だが，デフォーカス位置では楕 円形状となる．これらを4 分割フォトダイオードで光電変 図8は,波 長の短い成分だけを抽出するための 粗さ用ハイパスフィルターのフィルター特性のグ ラフで,図9に 波長の短い成分を取り除き,段 差 などの形状を見やすくするローパスフィルターの 特性を示す0. 図4非 点収差法における光学系の構成. 図5信 号演算 第2章2面非球面対物鏡の収差特性の導出 本章では、2面の回転対称非球面で構成される対物鏡(Fig.1)に微少な偏心が存在する場合の結像 収差を、3次収差論の範囲で導出した。光学系の定義を行った後、初めに、光学系に偏心が存在しな い場合の収差特性を |afu| cpy| jrk| hto| zrf| pya| fgx| bas| auj| ldw| slw| pno| oxo| sie| kkv| acu| dfn| ysz| akk| aae| the| tca| fqu| jme| whm| akk| twt| rgj| wyb| ofe| vmy| zwt| hke| nlf| qmj| kga| cqa| seu| tfk| gcn| wgi| xxc| wrn| vfd| yam| mxd| jin| trz| qlh| fce|