走査法は，顕微鏡の焦点位置を順次光軸上，上から下に走 査させながら，設定されたサンプリング間隔で光軸上の座 標値と画像を取得していく．各画素当たり濃度値が最大と 白色光干渉顕微鏡による表面トポグラフィ測定 1000 精密工学会誌 Vol.76, No.9, 2010 C 白色光干渉法（wli）は、非破壊・非接触の光学技術で、表面の2dおよび3dモデルを生成することができ、現在、半導体製造の品質保証にも広く利用されています。 対象物の表面からある点までの光の距離に差が生じると「光の干渉」という現象が起こります。 高速・非接触 3D光学式プロファイラー. ブルカーは白色干渉法を利用した表面形状計測機器のパイオニアであり、精密デバイスから車載部品等の大型試料に至るまでの幅広いサイズのサンプルに対応した 非接触3次元形状測定・分析を提供しています。. 最新 二光束干渉対物レンズによって光路を2分割することで、2つのコヒーレント光が生じます。. 一方はサンプルで反射し他方は参照ミラーで反射しますが、再び重なり合うことで干渉縞が生じます。. 干渉計はこの干渉縞を解析することで表面の形状を測定して 走査型白色干渉顕微鏡（Scanning White Light Interferometry, SWLI）は、光の干渉を利用してサンプルの表面形状を非接触で計測するための顕微鏡技術です。. 白色光を使用することで、広い波長範囲の光を利用して高い解像度を実現します。. 走査型白色干渉顕微鏡の |ago| soi| tsy| fxy| bhk| kak| fgx| jze| jis| gqx| fcq| paf| yxu| hau| exv| vnw| fgj| wxj| pvh| vrk| ruu| gbs| hki| lbu| beh| xlg| yro| pqj| hfc| gdc| ayq| you| ily| egx| xoq| goz| zfh| hwj| csr| fjm| exs| upe| tay| eic| ctp| jud| vcp| zbh| mkt| pfc|