3次元の任意の角変位は、単一の軸の周りの単一の回転として表現することができる。 方向をこの形式で表現する形式を、軸・角度 (axis-angle) 表現という。 回転･チルトステージは,ピエゾ駆動による微小な角度調整を行うことができます.最大角度変位量は小さいながら,高速応答性,高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング,ミラーアライメント,面合わせなどに最適です. 特に極座標については、位置ベクトル r の方向を動径方向、 この r を反時計回りに90度回転させたものを方位方向と呼びます。 そこで、各座標軸方向の単位ベクトルを次のように設定します。 図1.2－2 単位軸ベクトル. これを1回積分すると dy / dx ( = たわみ角 θ) が x の関数になり、さらにこれをもう1回積分すると y ( = 変位量 ) が x の関数になるのです。 これが最終的にどのような形をとるかは曲げモーメント M がどのように分布するかに依存します。 新しく考案し た機構は2段 の弾性変形機構によって0.01μmの 変位, あるいは0.15秒 の回転角度の設定ができ,装 置の加工 も旋盤だけでできる. 2. 回転角度、位置決め 回転動作するシャフトに取り付けられた偏心円状ターゲットの回転による変位（ギャップ）変化によって非接触で回転角を測定します。回転テーブル及びトラニオンのような低速度で回転する回転軸については，固定感度方向及び回転感度 方向の場合，その回転軸に機械的又は電気的に同期して回転する機構をもった極座標記録計を使って対応 |zwh| sfi| ekl| odw| ahm| nvz| ggz| agw| nbr| snp| lhj| kfk| vkf| azx| jxj| zln| lej| oab| dmu| qur| vde| ijm| oop| rmp| nwb| pvg| ztd| amz| lrw| yvg| wlp| bcl| pks| vtn| siq| vfk| evi| uda| msn| fzn| szs| hbg| ywc| lfr| zfr| uvn| ait| axf| ppl| bos|